製程廢水回收技術

關鍵字 #半導體 #廢水回收 #水資源

2021年初台灣本島西部地區發生大規模乾旱事件，導致各地區進入不同程度的減壓供水、限水、停耕、歇業等情況，此為自1947年以來最嚴重乾旱、又被稱作「百年大旱」。[歐陽夢萍，中央廣播電臺. 2021-04-19]

現在興建水利設施又已不太容易，加上電子產業生產特性的緣故,面對有限資源如何加強利用水資源將是一個很重要的課題。 一般二次超純水系統都會考慮到“製程回用調整”故本篇重心放在“廢水回收再利用”這課題，不討論“廢水處理後放流”等技術。

在進行廢水回收再利用前，必須先進行水源分類，針對不同的製程來源需要進行不同的程度的廢水處理動作，要考慮到阻塞因子、腐蝕因子以及回收水去處。並不是將廢水完全的再純化後使用就是最好的處理，而是要考量到經濟效益。針對不同的製程所需要的水質標準都不同，能做到最好的二次水去處規劃，可以大大降低處理成本及得到好的經濟效益(圖1.)。

在回收水的處理設計上必須先決定處理“目標”才有辦法設計處理“單元”（圖2）

廢水回收系統在設計水回收率之前，須先檢討以下事項：
各個製程別的廢水分類回收程度為何？
各分類廢水的濃度為何？
欲採用的技術及其可處理的程度為何？
與一次純水系統的合流點為何？

如果廢水為含硝酸、氟酸等之無機廢水必須先利用陰離子交換樹脂塔進行脫鹽處理再經混床塔處理至純水的程度，才能回到前處理段處理作為冷卻水等相關使用（圖3）。