超純水是最純淨的水嗎?

關鍵字 #工業水處理 #超純水 #半導體濕製程

理論上，超純水（UPW）是已純化至最高規格的水。水體僅含H2O分子，以及數量平衡的H +和OH-離子，理論電阻率為18.2MΩ.cm，做為標準TOC也必須 <10 ppb，細菌計數<10 CFU / ml。
但真的要歸類為超純水，純化後的水體應不得包含任何可檢測到的內毒素，在如此高的純度下，才能稱作真正的超純水。要達到如此的規範也必要付出相對的成本，所以一般工業上的超純水，大略的可以分為 #半導體/面板級 以及#生技製藥級 兩大類。

(圖一)為DRAM廠用的超純水建議規範。我們可以看到項目中雖然有要求達到18.2MΩ且對TOC以及菌數也有所控制。但對於生技製藥業而言會受到藥典的規範與限制，必須另外更嚴苛的通過無菌試驗，生菌數及內毒素含量。

(圖二)中A與B的超純水雖然都達到18.2MΩ，但我們可以看到在相同的樣品分析上基線的漂移程度有一定的顯著差異，其關鍵在於專注的規範項目及標準為何。

總的來說；因為成本的考量，對超純水在不同的使用目的會有不同的專注項目，但隨著半導體及面板世代不斷的演進，超純水的潔淨程度必會更加要求。