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微粒子在線系統
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轉盤式微粒監控系統

轉盤式微粒監控系統

Sequential Manifold Particle Monitoring System

產品說明
整廠微粒監控
規格說明
  • 獨立particle sensors 連續量測方式。
  • 單機多點(32 ports)連續輪流量測方式。
  • 適用於無塵室class 1 to 100k, mini-environment 。
  • 可結合溫濕度計,風速計,差壓計,ESD sensor等類比式訊號感測儀器
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