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QIII Probes SPC 表面潔淨度量測儀

QIII Probes

SPC 表面潔淨度量測儀

產品說明
  • QIII為世界唯一專利,採接觸式、量測物體表面Particle數量的設備!
  • 半導體,面板廠,設備商與所有PARTS CLEAN廠商,驗證PARTS表面是否乾淨的唯一檢驗標準工具!

規格說明
  • 1/2" Probe:
    通用型. Part Number: 4400141
    應用: 製程Chamber內壁, parts 表面, 機械手臂, 閥門狹縫, ESC表面, 風管, 其他狹小空間表面.
  • 2" Probe:
    垂直型 .Part Number: 4400140
    應用: 製程Chamber內壁、平面,大型組件表面, 無塵室工作區域表面
  • 3" Probe:
    垂直型 .Part Number: 4400706
    應用: 製程Chamber內壁、平面,大型組件表面, 無塵室工作區域表面
  • 2" & 3" Probe:
    直角型 .Part Number: 4400242 & 4400708
    應用: 具垂直角度的大面積表面, 無塵室工作區域表面
  • Pencil Probe:
    Part Number: 4400716
    應用: 螺釘、螺栓孔、大於5/8" (.625)的孔隙內壁
  • Injector Tube Probe:
    Part Number: 4401501
    應用: 氣體導入孔管壁、小型氣體管線管壁、 大於3/10" (.30)的孔隙管壁
  • Cassette Probes:
    3 sizes
    Part Number:
    65mm = 4400712
    150mm = 4400515
    200mm = 4401480
    應用: 65mm、 150mm、 200mm 晶圓載盒.
  • Novellus Injector Tube Probe:
    Part Number: 4401514
    硬用: 專為 Novellus top gas injector而設計之探頭



0.5in probe

2_3in probe

2in probe

3in probe

Cassette Probes

injector tube probe

Novellus Injector Tube Probe

pencil probe
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