客戶應用案例分享｜Pentagon QIII ST表面微粒子計數器
客戶應用案例分享｜Pentagon QIII ST表面微粒子計數器
關鍵字 #微粒子 #表面微粒子計數器 #SPC
▍產品導入之應用目的
ASYS本次的客戶想要量測其待測產品之表面，在經過清洗、烘乾後「表面殘留的微粒子數」，因此選擇Pentagon QIII ST表面微粒子計數器，來找尋出這些「高污染點位」進行標記，以利後續製程加強清潔，並同時訂定標準值，作為往後改善清潔的參考。同時，在該產品出貨前，提供客戶相關量測數據，佐證其產品出廠的品質！
▍儀器與設備設置
1.選擇最符合待測物表面尺寸之客製化專利探頭執行測量
(原廠能依客戶需求設計最符合待測物的探頭供選購)
2.將儀器設置使用「靜態Static」及「量測6 秒」模式
3.量測單位面積皆設訂為in2
▍簡易操作過程
1.將探頭高舉至HEPA下執行測量，以探頭清潔內部管路，當數值趨於穩定即可。（數值為環境背景值，此次Fab約為0.1um ≒ 136.6ea)
2.在待測產品上標示出各個清潔點位，及其他區域各點位
3.進行量測：量測待測產品於清潔前後的差異值，以驗證清潔成效。
▍小知識：QIII系列計算模式
◆ QIII所顯示的數據為：
微粒子覆蓋密度=實際顆數／探頭接觸單位面積
◆ 當儀器設置在「靜態Static」模式下、以0.5 in探頭量測接觸表面時，
（長：0.5 in、寬：1 in），其覆蓋面積為：0.5 in x 1 in = 0.5 in2
因此，可以得出覆蓋密度為：
總實際顆數／0.5 in2 或 總實際顆數／3.2258 cm2
所以量測結果不一定為整數，選取單位不同，量測數值亦不同
▍當微粒子遇見QIII ST：產品應用結果
藉由Pentagon QIII ST，快速檢驗出此次量測產品之高污染點位，（6秒內完成單一點位量測）
其中以Tray盤上的Particle數量較為明顯，數值遠遠超過環境背景值（0.1um ≒ 136.6ea）
此外也驗證如工作檯等表面，與產品直接或間接接觸，而造成了微粒子殘留。
根據檢測結果：推測出Tray盤是由於裝載針頭，可能因「直接與間接接觸」，造成Particle的殘留，進而導致產品出現微粒子汙染狀況。
▍建議與回饋
ASYS建議客戶應依據檢測結果率先區別出汙染源，並制定相關SPEC與清潔SOP，作為往後改善清潔之參考，以利確實控管製程品質！若數值對於貴司後續出貨的標準有影響，應針對Tray盤的供應商進行「進料檢驗」並要求潔淨度的保持！
同時提出回饋予客戶說明，實際狀況及手法標準的訂定，仍需經長期多次的測量，才能反應最真實的數據！
▍產品導入之應用目的
ASYS本次的客戶想要量測其待測產品之表面，在經過清洗、烘乾後「表面殘留的微粒子數」，因此選擇Pentagon QIII ST表面微粒子計數器，來找尋出這些「高污染點位」進行標記，以利後續製程加強清潔，並同時訂定標準值，作為往後改善清潔的參考。同時，在該產品出貨前，提供客戶相關量測數據，佐證其產品出廠的品質！
▍儀器與設備設置
1.選擇最符合待測物表面尺寸之客製化專利探頭執行測量
(原廠能依客戶需求設計最符合待測物的探頭供選購)
2.將儀器設置使用「靜態Static」及「量測6 秒」模式
3.量測單位面積皆設訂為in2
▍簡易操作過程
1.將探頭高舉至HEPA下執行測量，以探頭清潔內部管路，當數值趨於穩定即可。（數值為環境背景值，此次Fab約為0.1um ≒ 136.6ea)
2.在待測產品上標示出各個清潔點位，及其他區域各點位
3.進行量測：量測待測產品於清潔前後的差異值，以驗證清潔成效。
▍小知識：QIII系列計算模式
◆ QIII所顯示的數據為：
微粒子覆蓋密度=實際顆數／探頭接觸單位面積
◆ 當儀器設置在「靜態Static」模式下、以0.5 in探頭量測接觸表面時，
（長：0.5 in、寬：1 in），其覆蓋面積為：0.5 in x 1 in = 0.5 in2
因此，可以得出覆蓋密度為：
總實際顆數／0.5 in2 或 總實際顆數／3.2258 cm2
所以量測結果不一定為整數，選取單位不同，量測數值亦不同
▍當微粒子遇見QIII ST：產品應用結果
藉由Pentagon QIII ST，快速檢驗出此次量測產品之高污染點位，（6秒內完成單一點位量測）
其中以Tray盤上的Particle數量較為明顯，數值遠遠超過環境背景值（0.1um ≒ 136.6ea）
此外也驗證如工作檯等表面，與產品直接或間接接觸，而造成了微粒子殘留。
根據檢測結果：推測出Tray盤是由於裝載針頭，可能因「直接與間接接觸」，造成Particle的殘留，進而導致產品出現微粒子汙染狀況。
▍建議與回饋
ASYS建議客戶應依據檢測結果率先區別出汙染源，並制定相關SPEC與清潔SOP，作為往後改善清潔之參考，以利確實控管製程品質！若數值對於貴司後續出貨的標準有影響，應針對Tray盤的供應商進行「進料檢驗」並要求潔淨度的保持！
同時提出回饋予客戶說明，實際狀況及手法標準的訂定，仍需經長期多次的測量，才能反應最真實的數據！