Pentagon Qlll 表面微粒子計數器常見問題

關鍵字 #表面微粒 #SPC #微粒子量測


什麼情況下會需要使用SPC (Surface Particle Counter)?
1. 驗證PM成效，縮短後續PM時間進而提高產能
2. 確定機台、零件的表面潔淨度以防交叉污染產品
3. 確認產品製程前後Particle增減數量，並找尋issue位置

SPC(Surface Particle Counter)與APC(Air Particle Counter)差異?
SPC主要用於量測表面上的Particle，APC則是針對環境的Paritcle做量測，SPC法規須符合ISO 14644-9表面微粒子相關標準，APC則是符合ISO 14644-1的潔淨室空氣微粒子濃度標準，兩者息息相關但屬於不同領域的量測。
ISO 14644-1
ISO 14644-9

表面Particle該如何檢測?
1. 肉眼辨識:簡易快速，成本最低，但是肉眼可辨識粒徑有限，純靠感覺，毫無依據。
2. 燈光輔助(UV燈、斜光燈): 快速便捷，比肉眼更容易發現Particle，但只能看出Particle大致分部，無法實際量化Particle。
3. 表面微粒子計數器(Surface Particle Counter): 可量化數據，紀錄後可製成表格後續訂定SPEC，但設備的價格相對偏高。

表面微粒子計數器(SPC)只能測量平面的表面嗎?
SPC主要以平面表面為主，但Pentagon在美國本身的業務為Part clean，和多家國際設備大廠(TEL, Applied, KLA…etc)皆有業務合作，共同開發許多特殊探頭供User端選購，並提供客製化探頭，滿足客戶任何表面量測的需求！並且探頭本身為特殊材質，為了防止刮傷待測工件而研發，也不會發塵造成量測數值上的偏差。

Pentagon QIII-儀器作動原理
探頭作動原理

雷射作動原理