為何在有些工業上用紫外燈殺菌效果會不明顯?

為何在有些工業上用紫外燈殺菌效果會不明顯?

關鍵字 #工業水處理 #紫外線殺菌 #半導體濕製程

在不同的工業上會有不同的生產工藝參數,其條件要求也必然會不一樣,在面板/半導體這類的產業上,水的使用量皆比其它產業(像是製藥業、食品業及飲用水)等來得大量許多,嚴格的來說,規格甚至比製藥業的等級要求還要更高。 UV法殺菌法會受限水體的純淨度、流速及照射劑量等影響其殺菌力。主要原因為遮蔽效應跟生物具有復原能力。

要達到殺菌效果,紫外線波長一般建議在280nm以下(UV-C)但也不是隨意的拿UV-C照射物體表面細菌就會死亡。紫外線要有效果還必須考慮到UV劑量K。它是照射強度度與照射時間的乘積:K(UV劑量)=I(照射強度)*t(照射時間),照射時間與強度將直接影響殺菌效果。依公式,高強度短時間與低強度長時間的照射效果是相同的。

另一個需要注意的是,短波長雖然能量較高,但穿透力也會因為波長越短穿透力跟著下降,考慮到除水體本身也是個屏蔽物外,當流速加快時也大大減少了UV-C的穿透力跟滯留時間。(見圖二)

純UV殺菌法早期都是應用在飲用水跟食品製藥業上,所以業界普遍的設計都沒考慮到半導體/面板產業的場地限制跟大流量水體需求造成殺菌效果不明顯。如果一昧地增大UV能量,除了耗能外也增加維護成本及耗材。耀群便是以客戶的反饋,以成熟的分析方法為基礎加上專利光觸媒技術,進行最佳化適配、改造、優化,以達到痕量以及即時監測的目的,來解決及滿足客戶的需求。

參考文獻:
[1] http://www.seoulviosys.com/en/technology/uvled/
[2] Kowalski, W. J., and W. P. Bahnfleth, “Proposed Standards and Guidelines for UVGI Air Disinfection,” IUVA News, Vol. 6, No. 1, pp.20-25, (2004).
[3] Ichiro Kano, Daniel Darbouret "UV technologies in water purification"