FMS系统维护保养
校正服务除仪器准确度之校正外，另提供仪器之各零件之保护查核，并给予使用建议，以降低客户日后量测误差所引致之风险。
优势：
1.提供精准的绝对校正
2.技术人员每年接受原厂专业的训练
3.无尘室监控系统维护
服务项目：
监控软体维护服务
监控系统保养服务
机台保养维修服务
机台周边维修服务
表面微颗粒计数器校正/维修
确保检验过程的有效性，为所有客户提供可靠的检验报告以提升顾客的竞争力。
优势：
1.原厂授权认证亚太维修校正中心
2.提供精准的绝对校正
3.技术人员每年接受原厂专业的训练
微粒子计数器校正/维修
耀群科技之校正系依照美国原厂之校正标准程序进行，并以校正仪器打入标准化之微粒子作雷射之反应电压值之调整，以确保当比对仪器失准后所产生之比对误差。在原厂标准程序校正的同时，可一并发现其它零件之变异性，并作专业性之零件清洁保养及维修，以延迟仪器之使用寿命。并提供经原厂认可之校正报告，以维护客户的品质认证及品保诚信。
优势：
1.提供精准的绝对校正
2.技术人员每年接受原厂专业的训练