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QIII Probes SPC 表面潔淨度量測儀
QIII Probes SPC 表面潔淨度量測儀

QIII Probes

SPC 表面潔淨度量測儀

  • QIII為世界唯一專利，採接觸式、量測物體表面Particle數量的設備！
  • 半導體，面板廠，設備商與所有PARTS CLEAN廠商，驗證PARTS表面是否乾淨的唯一檢驗標準工具！

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規格說明
  • 1/2" Probe:
    通用型. Part Number: 4400141
    應用: 製程Chamber內壁, parts 表面、機械手臂、 閥門狹縫、ESC表面,、風管、其他狹小空間表面。
  • 2" Probe:
    垂直型 .Part Number: 4400140
    應用: 製程Chamber內壁、平面、大型組件表面，無塵室工作區域表面。
  • Pencil Probe:
    Part Number: 4400716
    應用: 螺釘、螺栓孔、大於5/8" (.625)的孔隙內壁。
  • Injector Tube Probe:
    Part Number: 4401501
    應用: 氣體導入孔管壁、小型氣體管線管壁、 大於3/10" (.30)的孔隙管壁。
  • Cassette Probes:
    3 sizes
    Part Number:
    65mm = 4400712
    150mm = 4400515
    200mm = 4401480
    應用: 65mm、 150mm、 200mm 晶圓載盒。
  • Novellus Injector Tube Probe:
    Part Number: 4401514
    應用: 專為 Novellus top gas injector而設計之探頭。
  • Custom probe:
    除上述探頭外，特殊表面結構需客製探頭，皆可討論製作。



0.5in probe

2in probe

Cassette Probes

injector tube probe

Novellus Injector Tube Probe

pencil probe
售後服務
耀群科技提供售後服務，請來電 03-5556675 # 4102
1. 儀器準確度之校正。
2.儀器零件之保固及維修，並給予專業使用建議，以降低客戶日後量測誤差所引致之風險。
3. 執行第三方公正驗證，為客戶群提供確實可靠的檢測報告。
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